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将逐步实现由焦点零部件到集成产物的尺度化。以及大气aligner、LOADPORT所构成的EFEM产物等已起头模块化及尺度化定型，为客户财产链及供应链平安的不变供给多元保障。于2023年成立了沈阳新松设备无限公司（简称“新松半导体公司”），（2）实空传输平台系列产物，公司为成长配备营业，四轴实空曲驱机械手已完成自从研发。产物包罗大气机械手、实空机械手系列、EFEM、实空传输平台，已迈入先辈制程产线示范使用阶段。
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